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    作為高端制造業(yè)的“皇冠明珠”，芯片即是集成電路，是衡量一個(gè)國(guó)家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志之一，是信息產(chǎn)業(yè)的核心。曾經(jīng)，我國(guó)集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)，完全依賴進(jìn)口。如今，2萬(wàn)多名科技工作者歷經(jīng)9年攻關(guān)，國(guó)家科技重大專項(xiàng)成功打造集成電路制造業(yè)創(chuàng)新體系，引領(lǐng)和支撐我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起，輻射帶動(dòng)了LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領(lǐng)先。

  5月23日，科技部會(huì)同北京市和上海市人民政府組織召開了國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡(jiǎn)稱集成電路專項(xiàng)）成果發(fā)布會(huì)，宣布國(guó)家科技重大專項(xiàng)打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)。

    科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏介紹，集成電路芯片是信息時(shí)代的基石，集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平。專項(xiàng)技術(shù)總師葉甜春將集成電路比喻為現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”，手機(jī)、電腦、家電、汽車、高鐵、工業(yè)控制等各種電子產(chǎn)品和系統(tǒng)都離不開集成電路。沒(méi)有集成電路產(chǎn)業(yè)支撐，信息社會(huì)就失去了根基。

    2008年，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專項(xiàng)開始啟動(dòng)實(shí)施，其總體目標(biāo)是開展集成電路制造裝備、成套工藝和材料技術(shù)攻關(guān)，掌握核心技術(shù)，開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展。

  “專項(xiàng)實(shí)施前，我國(guó)集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)，完全依賴進(jìn)口，產(chǎn)業(yè)鏈嚴(yán)重缺失?！奔呻娐穼ｍ?xiàng)技術(shù)總師葉甜春說(shuō)，通過(guò)2萬(wàn)科技工作者9年的艱苦攻關(guān)，我國(guó)已研制成功14納米刻蝕機(jī)、薄膜沉積等30多種高端裝備和靶材、拋光液等上百種材料產(chǎn)品，性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，通過(guò)了大生產(chǎn)線的嚴(yán)格考核，開始批量應(yīng)用并出口到海外，從而實(shí)現(xiàn)了從無(wú)到有的突破，填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈空白，使我國(guó)集成電路制造技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)生態(tài)得以建立和完善。

  該專項(xiàng)的實(shí)施使得我國(guó)制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)，技術(shù)水平飛速跨越，國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力大幅提升?！?008年前，國(guó)內(nèi)集成電路制造最先進(jìn)的量產(chǎn)工藝為130納米，研發(fā)工藝為90納米。專項(xiàng)實(shí)施至今，主流工藝水平提升了5代，55、40、28納米三代成套工藝研發(fā)成功并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，22、14納米先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)取得突破，形成了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)；封裝企業(yè)從低端進(jìn)入高端，三維高密度集成技術(shù)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平?！比~甜春說(shuō)，借助這些工藝制造的智能手機(jī)、智能卡等芯片產(chǎn)品大批量進(jìn)入市場(chǎng)，提高了我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。

  缺乏自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)一直是制約我國(guó)集成電路企業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展的瓶頸問(wèn)題，因此培育自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施的重中之重。葉甜春說(shuō)，集成電路專項(xiàng)已申請(qǐng)了2.3萬(wàn)余項(xiàng)國(guó)內(nèi)發(fā)明專利和2000多項(xiàng)國(guó)際發(fā)明專利，所形成的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系使國(guó)內(nèi)企業(yè)在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中的實(shí)力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國(guó)際合作”的新模式。

  產(chǎn)業(yè)體系的構(gòu)建過(guò)程離不開體制機(jī)制的創(chuàng)新。北京市經(jīng)信委主任張伯旭表示，“下游考核上游，整機(jī)考核部件，應(yīng)用考核技術(shù)，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的考核制，保證了科研成果的實(shí)用性，成就了一大批經(jīng)得起市場(chǎng)檢驗(yàn)的高端產(chǎn)品。

  此外，專項(xiàng)在實(shí)施過(guò)程中，采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式?！皩ｍ?xiàng)與重點(diǎn)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動(dòng)引導(dǎo)地方和社會(huì)的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動(dòng)了專項(xiàng)成果產(chǎn)業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力?！睆埐裾f(shuō)，在專項(xiàng)支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列，一批骨干企業(yè)開始積極參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)，專項(xiàng)支持的企業(yè)在資本市場(chǎng)備受青睞。

  葉甜春介紹，專項(xiàng)已在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署，預(yù)計(jì)到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化?！笆濉边€將重點(diǎn)支持7至5納米工藝和三維存儲(chǔ)器等國(guó)際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，支持中國(guó)企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢(shì)。